激光干涉仪是一种高精度的测量仪器。在测量直线步进电机步距精度时，将激光干涉仪的测量头安装在电机的动子（运动部件）上，干涉仪的参考镜固定在电机的定子（静止部件）上。当电机接收到脉冲信号开始运动时，激光干涉仪可以准确地测量出电机动子的实际位移。通过对多个脉冲下的位移进行测量，然后与理论步距进行对比，就可以计算出步距精度。这种方法的优点是精度非常高，可以达到纳米级别的分辨率，能够非常准确地反映电机的步距精度。

　　光栅尺测量法

　　光栅尺是一种通过光学原理来测量位移的装置。在电机动子上安装光栅尺的移动部分，在定子上安装光栅尺的固定部分。电机运行时，光栅尺会产生与位移对应的脉冲信号。通过对这些信号进行计数和分析，就可以得到电机的实际位移量。将实际位移量与理论步距相比较，就可以确定步距精度。光栅尺测量法的精度也比较高，而且安装相对简单，成本比激光干涉仪低，在很多工业场合得到广泛应用。

　　标准量块比较法

　　这种方法相对简单。首先使用标准量块来确定电机的理论步距，例如，已知电机的理论步距应该使动子从一个位置移动到刚好与标准量块的一端对齐的位置。然后通过触发电机的脉冲信号，观察动子实际位置与标准量块的对齐情况。可以使用显微镜或者高精度的位移传感器来辅助观察和测量偏差，进而计算步距精度。不过这种方法的精度有限，主要适用于对精度要求不是非常高的场合。